Сипаттама
Бір кристалды кремний құймасыis әдетте өсіріледі Czochralski CZ, магнит өрісі индукцияланған Czochralski MCZ және Floating Zone FZ әдістерін дәл легирлеу және тарту технологиялары арқылы үлкен цилиндрлік құйма ретінде.CZ әдісі жартылай өткізгіш құрылғыларды жасау үшін электроника өнеркәсібінде қолданылатын диаметрі 300 мм-ге дейінгі үлкен цилиндрлік құймалардың кремний кристалын өсіру үшін кеңінен қолданылады.MCZ әдісі салыстырмалы түрде төмен оттегі концентрациясына, төмен қоспа концентрациясына, төмен дислокацияға және біркелкі меншікті кедергіге қол жеткізе алатын электромагнитпен жасалған магнит өрісі болатын CZ әдісінің вариациясы.FZ әдісі 1000 Ом-см-ден жоғары жоғары кедергіге және құрамында оттегі аз жоғары таза кристалға қол жеткізуді жеңілдетеді.
Жеткізу
Western Minmetals (SC) корпорациясында өткізгіштігі n-типті немесе p-типті CZ, MCZ, FZ немесе FZ NTD бір кристалды кремний құймасын диаметрі 50мм, 75мм, 100мм, 125мм, 150мм және 200мм өлшемдерінде жеткізуге болады (2, 3 , 4, 6 және 8 дюйм) бағдары <100>, <110>, <111> беті полиэтилен пакетінің қаптамасында, сыртында картон қорапшасында немесе тамаша шешімге жету үшін теңшелген сипаттама ретінде.
.
Техникалық спецификация
Бір кристалды кремний құймасы CZ, MCZ, FZ немесе FZ NTDWestern Minmetals (SC) корпорациясында n-типті немесе p-типті өткізгіштігі бар 50мм, 75мм, 100мм, 125мм, 150мм және 200мм диаметрі (2, 3, 4, 6 және 8 дюйм), бағдары <100 өлшемде жеткізілуі мүмкін. >, <110>, <111> сыртында картон қорапшасы бар ішінде полиэтилен пакетінің қаптамасында жерленген беті немесе тамаша шешімге жету үшін теңшелген сипаттама ретінде.
Жоқ. | Элементтер | Стандартты спецификация | |
1 | Өлшем | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9,5", 10", 12" | |
2 | Диаметрі мм | 50.8-241.3 немесе қажетіне қарай | |
3 | Өсу әдісі | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Өткізгіштік түрі | P-түрі / Бор қоспасы, N-типі / Фосфид қоспасы немесе Қоспасыз | |
5 | Ұзындығы мм | ≥180 немесе қажет | |
6 | Бағдарлау | <100>, <110>, <111> | |
7 | Меншікті кедергі Ω-см | Талап етілгендей | |
8 | Көміртек мөлшері а/см3 | ≤5E16 немесе қажетінше | |
9 | Оттегі мөлшері а/см3 | ≤1E18 немесе талап етілгендей | |
10 | Металл ластануы а/см3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) немесе <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Қаптама | Ішінде пластик пакет, сыртында фанер қорап немесе картон қорап. |
Таңба | Si |
Атомдық нөмір | 14 |
Атомдық салмақ | 28.09 |
Элемент санаты | Металлоид |
Топ, период, блок | 14, 3, Б |
Кристалл құрылымы | Алмаз |
Түс | Қою сұр |
Еру нүктесі | 1414°С, 1687,15 К |
Қайнау нүктесі | 3265°C, 3538,15 К |
Тығыздығы 300K | 2,329 г/см3 |
Меншікті кедергі | 3,2E5 Ом-см |
CAS нөмірі | 7440-21-3 |
EC нөмірі | 231-130-8 |
Бір кристалды кремний құймасы, толық өскен және оның кедергісі, қоспа құрамы, кристалды жетілдіретіндігі, өлшемі мен салмағы білікті болған кезде, оны оң диаметрге дейін тамаша цилиндр ету үшін алмас дөңгелектер арқылы жерге тұйықталған, содан кейін тегістеу процесінде қалдырылған механикалық ақауларды жою үшін тегістеу процесінен өтеді. .Содан кейін цилиндрлік құйма белгілі бір ұзындықтағы блоктарға кесіледі және пластинаның төменгі ағынын кесу процесіне дейін кристаллографиялық бағдар мен өткізгіштікті анықтау үшін туралау үшін вафельді өңдеудің автоматтандырылған жүйелері арқылы ойықтар мен бастапқы немесе екіншілік тегістеледі.
Сатып алу бойынша кеңестер
Бір кристалды кремний құймасы